国家知识产权局信息显示,合肥市国微光电科技有限公司取得一项名为“一种光刻机晶圆台快速调平机构”的专利,授权公告号CN224096126U,申请日期为2025年6月。
专利摘要显示,本实用新型涉及半导体制造设备技术领域,尤其是一种光刻机晶圆台快速调平机构,包括放置台;以及,支撑组件,包括有安装座;以及,调平组件,包括有驱动杆和安装在驱动杆顶部的伸缩杆;其中,伸缩杆可沿着驱动杆的径向进行伸缩,支撑组件还包括尺寸略大于安装座的底座,底座固定连接在安装座的底部,底座的外壁通过安装螺栓与外部设备连接,调平组件还包括多个固定连接在安装座顶壁的安装块,它可以通过多轴协同运动的调平组件,实时、动态地调整放置台的姿态,从而确保其上的晶圆实现高精度的同步调平,与此同时,通过支撑组件同步工作,有效吸收运动产生的反作用力并抑制振动,为整个调平过程和装置运行提供坚实、可靠的稳定性保障。
天眼查资料显示,合肥市国微光电科技有限公司,成立于2024年,位于合肥市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本630万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥市国微光电科技有限公司专利信息4条,此外企业还拥有行政许可1个。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
本文源自:市场资讯
作者:情报员
热门跟贴