国家知识产权局信息显示,北京晶亦精微科技股份有限公司取得一项名为“一种化学机械平坦化设备”的专利,授权公告号CN224088699U,申请日期为2025年4月。

专利摘要显示,本实用新型提供一种化学机械平坦化设备,涉及半导体设备技术领域。该化学机械平坦化设备包括:相邻的第一平坦化模块和第二平坦化模块,以及设置在第一平坦化模块和第二平坦化模块之间的转换机械手;第一平坦化模块和第二平坦化模块分别包括清洗单元和研磨单元;清洗单元内设置有两排工位;靠近相邻边的一排工位包括依次排列的传导工位和暂存工位,远离相邻边的一排工位包括依次排列的清洗工位、笔刷刷洗工位和干燥工位;在两排工位之间还包括两个传输机械手;相邻边为第一平坦化模块和第二平坦化模块的相邻的边,传导工位和干燥工位设置在远离研磨单元的一侧,暂存工位和清洗工位设置在靠近研磨单元的一侧。本实用新型能够提高晶圆的处理效率。

天眼查资料显示,北京晶亦精微科技股份有限公司,成立于2019年,位于北京市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本16646.135万人民币。通过天眼查大数据分析,北京晶亦精微科技股份有限公司参与招投标项目67次,财产线索方面有商标信息15条,专利信息421条,此外企业还拥有行政许可9个。

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作者:情报员