国家知识产权局信息显示,宜宾英发德睿科技有限公司申请一项名为“一种基于臭氧的硅片慢提拉清洗方法”的专利,公开号CN121888735A,申请日期为2026年1月。

专利摘要显示,本发明公开了一种基于臭氧硅片慢提拉清洗方法,涉及硅片生产技术领域,包括:通过机械臂提花篮并将装有硅片的花篮放入慢提拉槽中;向慢提拉槽底部通入臭氧气体进行鼓泡操作,预设鼓泡时间后停止通入臭氧气体,结束鼓泡;以预设速度缓慢匀速提起花篮,完全提起后将花篮放入烘干槽;在烘干槽内对硅片进行烘干操作,使硅片表面形成均匀且致密的自然氧化层;所述慢提拉槽和烘干槽均设置在湿法槽式机中,所述湿法槽式机的外侧安装有臭氧发生器。本发明所形成的氧化层与后续工艺结构更为匹配,可提升开路电压与填充因子,最终提高光电转换效率。本发明仅需在现有湿法槽式机中加装臭氧发生器与管路,易于在产线中推广应用,具有较好的产业实用价值。

天眼查资料显示,宜宾英发德睿科技有限公司,成立于2025年,位于宜宾市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本100000万人民币。通过天眼查大数据分析,宜宾英发德睿科技有限公司参与招投标项目1次,专利信息23条,此外企业还拥有行政许可6个。

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作者:情报员