中芯国际在北京和上海的7纳米生产线,现在良率保持在80%以上,每月能产出超过5万片晶圆,他们没有购买极紫外光刻机,而是利用深紫外线设备经过四次曝光来完成制作,每片晶圆需要多次对准,并使用五块掩模版拼合而成,这项工作听起来像机械操作,实际上比绣花还要精细,稍有偏差就会导致晶圆报废,华为的昇腾910C芯片、寒武纪的思元590和690等国产人工智能芯片,已经通过这条生产线实现批量出货,到2026年第一季度,国产AI加速卡占据了市场42%的份额,相比去年增长了一倍。

梁孟松在2017年回到中芯的时候,14纳米的良率只有百分之三,那时台积电早就开始生产7纳米了,他没有等着买新设备,只用了298天就把14纳米的良率提高到百分之九十五,用的方法很直接,就是调整参数、盯着显微镜看,工程师们蹲在生产线上改方案,到了2025年9月,荷兰那边卡住了DUV设备的维修零件,北京工厂里三台关键机器停了17天,团队干脆拆了三台旧机器,拼凑出一台能用的来,现在备件清单还是手写的,在416项国产替代的项目里,已经有183项落实了,这不是突然冒出来的成绩,而是大家天天修补漏洞慢慢积累起来的。

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光刻机被卡住脖子,但其他环节没有停下,长电科技和通富微电的7纳米倒装焊封装线已经通过认证,华大九天的EDA工具在中芯国际的部分模块里承担起模拟电路设计的工作,华为自己研发NPU,阿里平头哥绕开ARM,直接把含光核心放进芯片进行流片,华虹也在建设7纳米生产线,不是为了抢占市场,而是多留一条后路,大家都清楚,不能只靠一家公司来支撑。

总有人把中芯N+2和台积电7nm放在一起比,其实没必要这么做,晶体管密度低一些,功耗高一点,但对训练中小模型、跑推理任务来说完全够用,DUV的波长是193纳米,EUV只有13.5纳米,差距有14倍多,硬要追赶也没意义,梁孟松团队从没说过“三年超车”这种话,就是一步步测胶的温度,查金属有没有残留,改对准时的偏移,连ASML的工程师私下也说,你们这样调试的方法,我们图纸上都没写过。

从中芯出来的工程师们,分散到了合肥、深圳和绍兴的新基地,他们每天处理的工作听起来很普通,比如校准离子注入设备、分析清洗间的金属痕量、把光刻胶的烘烤温度再调低两度,大家平常聊天时就说“这版胶要是烤温降两度,线宽就准了”,7纳米产线能稳定运行,不是靠哪个人的灵机一动,而是经过几千个参数反复调试和校准后,慢慢积累起来的系统稳定性。