ASML总裁Christophe Fouquet在接受荷兰《电讯报》记者采访时表示:就EUV技术来说,没有看到任何证据能够证明中国已经在突破封锁,这是一个十年以上的大工程,而不是两三年的小项目。 中国已经长达8年没有获得我们的EUV光刻机,在先进芯片制造上落后约8年时间。 不过中国也在取得一些技术成果,并且中国还在持续投入巨资研发设备,这必然会影响全球芯片产业的格局。

PART.01

初见端倪

中国大陆晶圆制造企业与ASML的合作可以追溯到2000年代初。以中芯国际为代表的晶圆厂,长期采购i-line、KrF以及ArF等DUV光刻设备,支撑起从90nm到28nm的工艺演进。

2018年成为关键转折点。当时中芯国际曾计划采购一台EUV光刻机,这是中国企业首次接近先进制程核心设备。但随后,在美国政府持续施压下,荷兰政府最终未批准出口许可,这台设备未能交付。

同一时期,华为、中兴通讯相继遭遇制裁,美西方对中国半导体技术限制越演越烈。

PART.02

全面围堵

进入2019年后,围绕先进制程的封锁进一步加剧。

EUV设备成为绝对禁区。由于其涉及超高精度光源(13.5nm波长)、反射镜系统以及复杂的系统集成,全球仅ASML具备量产能力。缺失EUV光刻机中国完全失去先进制程的制程能力。

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不仅EUV,部分先进DUV设备(如浸没式ArF)也被纳入出口管制,使中国企业在14nm及以下节点的扩展能力受限。

提出最严限制法案:只要是中国人造不出来的设备,全部禁止出口。只要是那些中国企业高度依赖进口,并且本土企业无法制造出来的技术设备,美国企业及盟友企业均不允许向中国企业提供。

从Applied Materials、Lam Research到KLA Corporation,再到关键材料与EDA工具,限制逐渐覆盖设计—制造—设备—材料全链条。这一阶段的本质,不只是卡设备,不是卡材料,而是试图维持现状,让中国永远有技术代差。

PART.03

真假8年

ASML总裁落后8年说法是否成立?

它的逻辑是:EUV光刻已经8年没有给到中国,而先进制程量产节点(7nm及以下)自2018年前后开始商业化,恰逢此时中国企业没有高端光刻设备,缺乏EUV支撑,难以规模化进入5nm/3nm,先进逻辑芯片代际演进受阻。

从“最先进量产节点”这一单一指标来看,这一说法具有一定现实基础。

但中国:

在成熟制程(28nm及以上)、功率器件、特色工艺(如BCD、CIS)等领域,中国并未“落后8年”,部分甚至具备竞争优势。

在当前全球半导体需求中,汽车电子、工业控制等大量应用仍依赖成熟工艺,中国仍扮演着重要角色。

通过多重曝光(multi-patterning),在DUV条件下仍可逼近更先进节点,尽管成本和复杂度更高。

PART.04

未来可期

未来中国半导体与世界的差距会扩大,还是越来越小?

1. 先进制程仍存在差距

EUV及后续High-NA EUV仍将由ASML主导,中国短期难以追平,这是不得不承认的事实。

2. 成熟制程全面崛起

在28nm及以上领域,中国有望实现完全自主可控,并形成规模优势,在全球占据一席之位。

3. 技术路径多元化

Chiplet(小芯片)、先进封装等技术协同发展,将在一定程度上绕开制程瓶颈,重塑竞争规则。

短期内, 中国在最尖端领域可能仍有明显差距,但在封锁压力下,会快速补齐产业链,并在部分环节形成反向突破。

小小寰球,有几个苍蝇碰壁。嗡嗡叫,几声凄厉,几声抽泣。蚂蚁缘槐夸大国,蚍蜉撼树谈何易。正西风落叶下长安,飞鸣镝。

多少事,从来急;天地转,光阴迫。一万年太久,只争朝夕。四海翻腾云水怒,五洲震荡风雷激。要扫除一切害人虫,全无敌。

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