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2026年3月25日,上海举办的SEMICON China展会中,一个展台客流几乎没断过,而那里展示是一种叫“键合”的设备。

而这种芯片的“缝合术”到底有何神奇之处,竟能让全球巨头争相砸钱?

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要讲清楚这件事,得从一片特殊的晶圆说起。就在上述展会现场,一片外观并不起眼的晶圆被小心放置在展柜里。

它实际上是由两片材料“合体”而成。一片是具备优异电光性能的铌酸锂,另一片是作为“底座”的硅片或石英片。它叫绝缘体上铌酸锂衬底,被业界视为未来光电芯片的热门原材料

而把这两片性质迥异的材料变成一块“三明治”的,是一台国产常温键合设备。设备来自国内企业青禾晶元,一家被业界称为“键合领域先行者”的公司。

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关于键合,更准确地说,它是在原子尺度上做缝合,不需要胶水,不用焊条,只需要把两片晶圆先被研磨抛光到极致平坦。

而且表面的起伏程度要控制在纳米级,差不多相当于一个平面上最高处和最低处相差不超过一根头发丝的直径。

然后再用设备在超高真空环境里用离子束“清扫”这两个接触面,去除最表层的氧化物和污染物,裸露出活性极强的原子

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接下来是关键一步,让两个清洁到原子级别的表面被精确对准、贴合在一起。

在室温条件下,接触面上的原子会自发形成稳定的化学键,氧原子与硅原子、铜原子与铜原子之间,建立起类似“握手”一样的共价键或金属键。

于是这两块材料,就此在原子尺度上融为一“体”。这听起来像是科幻小说的情节,但它正在国内多家产线和实验室里真实地发生着。

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而键合这门手艺真正的魅力,就是在于它能把原本“水火不容”的材料硬凑成一对。半导体行业面对过一件头疼了很久的事,研究过程中很多材料天生合不来。

比如高灵敏度的MEMS传感器不耐高温,还有的两种材料热膨胀系数差得离谱,一加热就变形,还没等烧到预定温度,其中一个已经翘曲、开裂了。

以氮化镓功率器件为例,它的性能很强,但发热量也相当大。工程师一直想把它的热量导向导热性能极佳的“散热之王”金刚石基板。

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问题是,传统键合工艺需要升温退火,而氮化镓和金刚石受热后膨胀的程度完全不在一个量级,高温键合界面会产生巨大的热应力,轻则影响器件性能,重则直接让整片晶圆报废。

于是,常温键合就在这种问题的背景下应运而生。在室温下完成两片材料的原子级结合,材料之间不需要经历“热胀冷缩”的折磨,自然能和平共处。

而键合技术另一个更受关注的战场,叫先进封装。2026年的AI芯片竞赛,把一件事实摆在了所有人面前:单纯靠把晶体管做小来提升性能,这条路走得越来越艰难了。

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毕竟一座2nm制程的晶圆厂,建设成本已经飙到了250亿美元左右,几乎是7nm时代的三倍。

物理规律也开始“使绊子”,当晶体管栅极缩小到几个纳米时,量子隧穿效应导致的漏电问题,让功耗控制变得令人头疼。

既然做小那么难,能不能换个思路,把芯片“摞”起来?键合技术,正是盖这栋“芯片摩天大楼”的起重机。

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以大家熟悉的AMD CPU为例,它内部的X3D缓存,那层额外堆叠的三级缓存芯片,用的是混合键合(Hybrid Bonding)工艺来实现堆叠与互联。

而这项技术取消了芯片之间传统的微凸点,那些直径几十微米的小锡球,让两枚芯片表面的铜触点直接贴合,铜原子在退火过程中相互扩散,形成一条条“无缝隧道”。

触点之间的距离因此可以从几十微米缩小到10微米甚至几微米,互联密度直接提升了十倍以上。

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目前混合键合已经被台积电、三星、英特尔、SK海力士等巨头视为下一代先进封装的必选技术。

而在SEMICON China 2026展会现场,北方华创发布了12英寸Qomola HPD30混合键合设备,据称是国内率先完成芯片对晶圆混合键合客户端工艺验证的厂商

不过这些技术从来不是从天而降的,在它背后,是武汉光谷一家名叫芯力科的企业成功研发了半导体混合键合设备,即将进入芯片产线验证。

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而其技术源头是华中科技大学机械学院尹周平院士团队,这种高精度设备的“高”到什么程度?普通人一根头发丝直径大约100微米,而芯力科设备的堆叠定位精度达到30纳米。

并且为了解决被芯片本身遮挡视线的难题,他们自研了一套特殊光路系统,相当于给设备装上能“拐弯的视线”,绕开遮挡完成精准定位。

而在同一个三月,青禾晶元宣布完成约5亿元战略融资,由中微公司联合领投。这家2020年成立于天津的企业,已铺开了从常温键合、混合键合到热压键合的完整设备矩阵,并提供晶圆级代工服务。

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有人说“国产替代”,但这些发生在展会现场的细节,讲的倒不是简单的取代故事。因为青禾晶元的常温键合设备,瞄准的是铌酸锂与硅片键合这类前沿应用场景。

而北方华创的混合键合设备,对标的则是全球市场上最高端的产品需求。一种技术路线的价值,终点或许落在“它能让什么东西变得可能”上。

而且刚刚过去的那个三月,无论是SEMICON展会上被围了三层的展台,还是财报电话会上被反复提及的键合订单,都正在释放同一个信号。

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当芯片制程微缩越来越逼近物理极限,那个能把它“摞”起来、“缝”起来、“融”起来的技术,正在慢慢走向聚光灯下。

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