截至2026年4月27日 14:59，中证半导体材料设备主题指数(931743)强势上涨6.22%，成分股芯源微上涨17.87%，富创精密上涨16.98%，龙图光罩上涨11.59%，长川科技，中科飞测等个股跟涨。半导体设备ETF华夏(562590)上涨6.40%，最新价报2.06元。拉长时间看，截至2026年4月24日，半导体设备ETF华夏近1周累计上涨2.43%。

流动性方面，半导体设备ETF华夏盘中换手11.56%，成交3.25亿元，市场交投活跃。拉长时间看，截至4月24日，半导体设备ETF华夏近1周日均成交1.66亿元。

规模方面，半导体设备ETF华夏近1周规模增长2897.00万元，实现显著增长，新增规模位居可比基金2/5。（数据来源：Wind）

数据显示，杠杆资金持续布局中。半导体设备ETF华夏最新融资买入额达389.25万元，最新融资余额达2290.49万元。（数据来源：Wind）

跟踪精度方面，截至2026年4月24日，半导体设备ETF华夏今年以来跟踪误差为0.013%，在可比基金中跟踪精度最高。