国家知识产权局信息显示,合肥晶合集成电路股份有限公司申请一项名为“晶体管沟道制备方法及晶体管、半导体器件”的专利,公开号CN121941088A,申请日期为2026年3月。
专利摘要显示,本申请涉及一种晶体管沟道制备方法及晶体管、半导体器件,方法包括:提供衬底;衬底内通过离子注入形成的有初始沟道;于初始沟道两侧的衬底顶面上形成掩模层,并基于掩模层在无偏置电压下,采用含锗气体对初始沟道进行掺锗处理,使初始沟道具有平行于初始沟道方向的第一压应力,以及垂直于初始沟道方向的第二压应力;在初始沟道顶面上形成应力层,并对应力层及初始沟道执行预设退火工艺,得到目标沟道;应力层具有用于提供抵消第二压应力的拉应力。够降低DIBL效应的同时,避免高能离子注入引起器件参数波动与可靠性下降。
天眼查资料显示,合肥晶合集成电路股份有限公司,成立于2015年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本200759.1697万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了11家企业,参与招投标项目641次,财产线索方面有商标信息52条,专利信息1621条,此外企业还拥有行政许可26个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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