一、产品定位与行业痛点

一、产品定位与行业痛点

1. PLR3000核心应用领域?

面向半导体、超精密加工、航空航天、精密仪器,解决纳米级在机检测难题。

2. 传统反馈设备(光栅/钢带尺)的瓶颈?

热漂移、安装受限、阿贝误差,加工状态下精度大幅衰减。

二、核心技术与原理

二、核心技术与原理

3. 测量原理是什么?

基于迈克尔逊干涉原理,搭配热隔离专利设计。

4. 如何解决热漂移问题?

热源分离设计,主机与探头光纤连接,实现冷光探测,零热源干扰。

5. 如何降低阿贝误差?

可嵌入运动轴内部,贴近测量基准安装,从根源减少几何误差。

三、核心性能参数

三、核心性能参数

6. 稳频精度是多少?

0.02ppm,1米行程误差仅0.02μm,长量程稳定性拉满。

7. 测量分辨力有多高?

1nm,捕捉原子级微位移,实时对冲导轨爬行与空程。

8. 采样频率与测速?

20MHz采样,最大测速2m/s,高速加工不丢帧。

9. 探头与主机连接方式?

3米铠装光纤,适配狭小空间嵌入式安装。

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四、闭环解决方案

四、闭环解决方案

10. 与SJ6000激光干涉仪如何分工?

SJ6000:离线标定定基准;PLR3000:在机反馈守精度。

11. 完整精度闭环方案是什么?

离线标定→在机实时反馈→动态补偿,终结加工精度黑洞。

12. 搭配机床测头实现什么?

工件自动找正+加工尺寸实时反馈,全流程检测闭环。

五、行业应用价值

五、行业应用价值

13. 半导体领域应用?

光刻机晶圆台/工件台,纳米级多轴定位

14. 超精密机床应用?

非球面镜、光学透镜,纳米级进给控制

15. 航空航天应用?

4米量程最大误差0.8μm,保障大型构件精准配合。

16. 精密仪器应用?

高精度位移台、电镜载物台的标定基准。

六、核心优势与价值

六、核心优势与价值

17. 动态测量优势?

高频采集+高速适配,高速切削刀具轨迹零偏差。

18. 相比传统激光设备的优势?

小体积可嵌入、零热源干扰、在机闭环、纳米级稳定

19. 量值溯源能力?

稳频精度达标,为高端装备提供绝对长度基准

20. 中图仪器全链路能力?

打造纳米→百米全尺度精密测量方案,覆盖全场景计量需求。

光纤激光尺,以纳米精度赋能高端制造升级
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