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（来源：第三代半导体产业）
近日，位于中国（河北）自由贸易试验区正定片区的河北晶驰半导体材料装备研发生产项目抢抓施工黄金期，踏春提速、全速推进，施工现场机器轰鸣、人员忙碌，一派热火朝天的建设景象，为区域半导体产业高质量发展注入新动能。该项目总投资2亿元，一期计划建设2栋生产车间和1栋综合楼，建成后将成为正定片区半导体装备产业的重要增长极。
河北晶驰半导体材料装备研发生产项目施工单位项目负责人李阳介绍，目前项目建设正按计划稳步推进，进度最快的2号生产车间已进入一层顶模板支设和钢筋绑扎关键阶段，预计本月底实现一层封顶；1号生产车间和综合楼同步开展基础施工与主体搭建，各项工序有序衔接、高效推进，预计整个项目9月底完成全部施工任务，正式具备投产条件。
据了解，河北晶驰半导体材料装备研发生产项目是正定县招商选资重点项目，由河北晶驰机电有限公司投资建设，紧扣河北省第三代半导体产业发展布局，聚焦碳化硅、金刚石等宽禁带半导体关键装备研发生产，精准契合京津冀集成电路产业集群发展需求。项目建成后，将实现碳化硅晶体生长、金刚石晶体生长及相关半导体材料设备的自主研发、生产与制造，预计年营业收入可达2.2亿元，为地方经济发展和产业结构升级提供有力支撑。
值得一提的是，企业在技术研发领域持续发力，构建了高水平产学研协同创新体系。河北晶驰机电有限公司深度携手浙江大学、杭州电子科技大学等高校，与浙大科创中心等机构共建实验室，组建了一支由中科院院士及浙大教授领衔的技术研发及顾问团队，始终聚焦我国先进半导体设备技术“卡脖子”难题，全力推进核心技术自主突破，助力实现进口替代。截至目前，企业已拥有核心专利18项，在关键技术领域形成了鲜明优势。
在碳化硅装备领域，企业已取得突破性进展，率先实现8—12英寸碳化硅单晶炉的技术突破，相关设备采用先进的电阻式物理气相传输（PVT）方法，优化腔体结构和温场设计，可实现8英寸与12英寸生产模式一键切换，生长的晶锭品质优良，目前已批量交付多家行业头部企业，彰显了国产半导体装备的核心竞争力。同时，企业在金刚石半导体领域也稳步布局，已成功制备2—6英寸半导体级单晶材料，填补了国内相关技术空白，为第四代半导体产业发展奠定基础。
河北晶驰机电有限公司副总经理郭淼表示，项目建成后，将充分发挥自身技术与产业优势，助力正定深度融入京津冀半导体产业协同体系，契合《京津冀国家集成电路先进制造业集群建设三年行动方案（2025-2027）》发展要求。同时，企业后续计划将第三、第四代半导体材料及设备的上下游产业链引入本地，带动半导体配套企业扎根本土、集聚发展，进一步完善区域半导体产业链条，推动形成“研发—生产—配套”的完整产业生态，为京津冀集成电路产业集群高质量发展贡献力量。
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