国家知识产权局信息显示,京东方华灿光电(广东)有限公司申请一项名为“金属有机化学气相沉积反应室及其监测装置和方法”的专利,公开号CN121951486A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本公开提供了一种金属有机化学气相沉积反应室及其监测装置和方法,属于半导体技术领域。所述监测装置包括监测移动平台和监测模块,所述监测模块与所述监测移动平台相连,所述监测移动平台驱动所述监测模块移动,所述监测模块在移动时对反应室内的晶圆表面进行监测。本公开可以扩大监测装置对反应室内晶圆的监测范围,从而改善晶圆的加工工艺精度。
天眼查资料显示,京东方华灿光电(广东)有限公司,成立于2022年,位于珠海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本186000万人民币。通过天眼查大数据分析,京东方华灿光电(广东)有限公司参与招投标项目31次,专利信息116条,此外企业还拥有行政许可111个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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