国家知识产权局信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司申请一项名为“检测湿法工艺是否健康的方法”的专利，公开号CN121955027A，申请日期为2026年1月。

专利摘要显示，本申请提供一种检测湿法工艺是否健康的方法，包括：步骤S1：提供洁净的空白晶圆；步骤S2：对晶圆的正面进行湿法工艺，湿法工艺的溶剂中含有硫元素；步骤S3：对晶圆的背面进行湿法处理，湿法处理的溶剂中不包含硫元素；步骤S4：对晶圆的正面进行缺陷扫描，得到第一扫描结果；步骤S5：判断第一扫描结果中是否存在聚集状缺陷；若是，则湿法工艺不健康，若否，则湿法工艺健康。本申请通过判断晶圆的正面有无聚集状缺陷来判断有无硫元素残留，由此达到检测湿法工艺是否健康的目的，从而可以对不健康的湿法工艺过程进行优化，提高器件的性能和可靠性。

天眼查资料显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析，芯恩（青岛）集成电路有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目182次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息1020条，此外企业还拥有行政许可56个。

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作者：情报员