国家知识产权局信息显示,上海汇芯拓半导体技术有限公司取得一项名为“一种喷淋头升降装置及半导体设备”的专利,授权公告号CN224199472U,申请日期为2026年3月。

专利摘要显示,本申请涉及一种喷淋头升降装置及半导体设备,喷淋头升降装置,包括:第一铝管,具有轴向贯通的第一气体通道;第二铝管,一端套设于第一铝管,另一端用于连接喷淋头;第二铝管具有轴向贯通并与第一气体通道连通的第二气体通道;第一密封件,设于第一铝管的外壁与第二铝管的内壁之间,以使第一气体通道与第二气体通道形成密封通道;以及伸缩辅助装置,包括套设于第一铝管的不锈钢波纹管;不锈钢波纹管的一端与第一铝管密封连接,另一端与第二铝管密封连接,以适配第一铝管和第二铝管的轴向相对位移。半导体设备,包括半导体腔室、喷淋头、供应装置以及上述的喷淋头升降装置。本实用新型能够实现管路滑动并兼顾管路密封。

天眼查资料显示,上海汇芯拓半导体技术有限公司,成立于2025年,位于上海市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本310.4839万人民币。通过天眼查大数据分析,上海汇芯拓半导体技术有限公司财产线索方面有商标信息2条,专利信息4条。

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作者:情报员