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XUV光谱范围(极紫外，通常指1–100 nm波长)的光谱解决方案主要依赖于高分辨率、高效率的光谱仪系统，结合无狭缝设计与平场校正技术，以实现对超快过程(如阿秒科学、高次谐波产生)的精确测量。

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maxLIGHT pro高效率平面场XUV光谱仪和光束轮廓仪

最大光收集量和最高系统效率

在XUV光谱仪中可用。集成的光束轮廓仪使其成为一个完整的表征工具适用于任何XUV光源。在1-200nm范围内具有宽广的平场覆盖1-200nm光谱区域的增加显著提高了实验室效率。

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easyLIGHT XUV紧凑型高效平场XUV光谱仪

无狭缝配置下30-250nm的平场光谱覆盖，效率提升高达20倍。紧凑型设备覆盖宽光谱范围。集成杂散光抑制功能，提高信噪比。

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高光高分辨率平场XUV光谱仪

平场XUV光谱仪中可实现最高的光谱分辨率。光谱带宽范围为1-20nm，或5-100nm。两种工作模式:高效无狭缝模式和传统入射狭缝模式。

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beamLIGHT在线XUV光谱仪

用于光束线集成的原位光谱表征工具。全电动无狭缝光谱仪，带光束旁路。紧凑的占地面积，适合紧凑的光束线布局。

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nanoLIGHT集成式XUV光谱仪和光束轮廓仪

用于10-80nm波段的原位光谱仪，结合光束轮廓仪和光束旁路。快速模式切换。极小的占地面积，便于光束线集成和改造。