国家知识产权局信息显示,苏州中科重仪半导体材料有限公司申请一项名为“一种常压生长的MOCVD反应器及薄膜生长方法”的专利,公开号CN121992490A,申请日期为2026年1月。
专利摘要显示,本发明涉及一种常压生长的MOCVD反应器及薄膜生长方法,属于半导体材料制备技术领域,解决了现有技术中水平进气的MOCVD反应器成型的薄膜前厚后薄、均匀性差、局部累积的问题。本发明包括反应室、进气组件和反应组件;反应组件设置于反应室的中心,进气组件设置于反应组件的第一侧,用于为反应组件提供反应气体;反应气体分层进入反应组件中,反应气体包括上层氨气、中层MO源和载气和下层氨气。本发明能提高成型薄膜的均匀性,减少局部累积。
天眼查资料显示,苏州中科重仪半导体材料有限公司,成立于2022年,位于苏州市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1083.34万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州中科重仪半导体材料有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目6次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息28条,此外企业还拥有行政许可7个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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