国家知识产权局信息显示，上海车仪田科技有限公司申请一项名为“溶液法薄膜制备过程的原位监测方法、系统、原位监测装置”的专利，公开号CN121994724A，申请日期为2026年4月。

专利摘要显示，本申请提供了一种溶液法薄膜制备过程的原位监测方法、系统、原位监测装置，涉及半导体检测技术领域，本申请获取待测晶圆表面的包括图像序列、反射光谱序列和干涉信号序列的多序列数据；处理反射光谱序列得到光谱解混结果；基于干涉信号序列对光谱解混结果进行约束求解，得到体积分数变化曲线；基于体积分数变化曲线计算工艺参数，生成空间分布图。本申请将图像信息、光谱信息与干涉信息进行同步获取和联合分析，实现了对溶液法薄膜制备过程中化学演化、物理厚度变化及空间分布特征的协同监测，有效克服了传统技术中信息维度单一、难以解耦耦合子过程以及难以准确反映制备全过程动态规律的问题，从而提高对溶液法薄膜制备过程的监测精度。

天眼查资料显示，上海车仪田科技有限公司，成立于2022年，位于上海市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本283.866万人民币。通过天眼查大数据分析，上海车仪田科技有限公司共对外投资了3家企业，财产线索方面有商标信息2条，专利信息111条，此外企业还拥有行政许可3个。

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作者：情报员