在多晶硅行业高速发展的今天,改良西门子法仍是我国太阳能级、微电子级多晶硅生产的主流工艺。

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生产运行中的痛点

工艺运行中,小粒径硅粉、催化剂颗粒等,一直是困扰生产的痛点--轻则堵塞管道降低原料回收效率,重则影响精馏纯度,影响产品品质。而这一难题在多个核心生产环节中均有突出体现,具体来看:

图一
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图一

TCS合成器出口气过滤(如图一 F1处)

三氯氢硅由硅粉与氯化氢在流化床反应器中高温合成,反应尾气携带未反应硅粉、催化剂粉尘等。

还原炉尾气环节(如图一 F5处)

硅棒高温分解生成多晶硅,尾气含三氯氢硅、氢气等原料,还夹带微量硅粉颗粒。

STC氢化环节(如图一 F12处)

四氯化硅氢化生成三氯氢硅,反应气中混有硅粉、催化剂碎屑,易污染系统。

罐顶除尘(如图一 F13处)

三氯氢硅合成器在运行或泄压过程中,罐顶排出的气体里会夹带极细的硅粉。若直接随气体排出,会磨损罐顶的管线、安全阀等。02

传统除尘 “拦不住、用不久”

试过布袋、金属等除尘器,你会发现要么很快被腐蚀、堵死;要么拦不住超细硅粉,管线和阀门被磨损,设备故障不断。而高温陶瓷过滤器耐高温、耐腐蚀,能精准拦住极细的硅粉和催化剂颗粒。有效减少管线、阀门等设备的磨损,保护后续换热设备,大幅降低后期运维成本。03

碳化硅陶瓷膜 帮你一招解决

针对多晶硅生产的复杂工况,高温陶瓷过滤器完美适配。

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耐高温:

采用碳化硅陶瓷膜,可在800℃高温环境下持续工作,适配多晶硅全流程高温工况。

耐磨蚀:

碳化硅陶瓷膜硬度高,可抵御高硬度硅粉颗粒的长期冲刷磨损,过滤元件寿命长,能保障系统长周期稳定运行。

过滤精度高:

出口颗粒物浓度低于5mg/Nm³,精准拦截小粒径硅粉、催化剂颗粒,避免其进入后续系统。

占地小:

独创的蜂巢陶瓷滤芯模块化设计大幅减少占地面积,降低安装难度。

自动化运行:

自动化程度高,支持在线自动反吹再生,无需频繁人工干预,使用寿命超4年

保护后续换热设备:

通过高温过滤,减少杂质附着,提升换热效率,有效避免换热器磨损、堵塞等问题。04

关于山东浦创

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山东浦创是专注碳化硅膜材料与膜技术应用的科技创新企业,深耕高温气固分离、精细过滤、物料分离等领域,专注为超高温、高压、大流量含尘气体工况,提供定制化自动反吹过滤系统设计、生产与全流程服务。

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