国家知识产权局信息显示,成都新紫光半导体科技有限公司申请一项名为“气体喷头及其控制方法和半导体设备”的专利,公开号CN122013148A,申请日期为2024年11月。

专利摘要显示,本公开涉及一种气体喷头及其控制方法和半导体设备,该气体喷头用于半导体设备,且该气体喷头包括至少两个喷淋区,每个喷淋区包括多个喷口。该气体喷头包括能够通过控制不同喷淋区的喷淋参数,保障整体成膜的均匀性,或者根据实际需求获得不同的厚度

天眼查资料显示,成都新紫光半导体科技有限公司,成立于2022年,位于成都市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本25000万人民币。通过天眼查大数据分析,成都新紫光半导体科技有限公司专利信息98条。

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作者:情报员