在半导体制造、生物医药及精细化工等领域,强腐蚀性气体、有机溶剂、高温烟气及高纯度介质的输送对软管的洁净度、耐化学性与无析出特性提出了严格要求。为此,我们提供一款以PTFE为管壁材料的轻量型软管产品,适用于抽取和鼓风作业,可满足多种苛刻工况下的输送需求。

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产品结构与材料

该软管管壁采用PTFE材料,不含纤维成分,无油污、粉尘、杂质等异物析出。外增强层配置外置螺旋金属龙骨,可根据使用环境选用镀锌钢、不锈钢SUS304L或SUS316L材质进行加强。产品设计为轻型、可压缩结构,便于运输、安装与储存。

性能特点

l耐温性能:工作温度范围为-70℃至+260℃,短时间使用可承受约+300℃的高温,适用于蒸汽、烟气及高温气体输送。

l化学稳定性:可输送绝大多数化学物质,包括强有机溶剂、强酸碱性介质及强氧化类气体,具备良好的耐强腐蚀性能。

l机械性能:具有较好的机械强度与耐磨损性能,可输送细小粉尘及少量纤维类介质。

l弯曲性能:具有良好的弯曲半径,便于在有限空间内进行管路布置。

l耐候性能:具备良好的耐老化、耐臭氧及耐候性能。

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适用范围

该软管广泛配套于半导体、医药、化工及相关产业的固定或移动设备。具体应用包括:

l强有机溶剂及化工类废烟气抽取

l强腐蚀性、强酸碱性、强氧化类气体的循环抽取与输送

l工业除尘与抽吸

l洁净空调和通风装备的抽取与输送

l活性介质输送,如蒸汽和烟气

洁净度定制选项

针对对颗粒物及金属离子敏感的严苛应用场景,可提供两级洁净清洗服务:

二级清洗:去除微米级颗粒物。一般清洗后在千级洁净环境下进一步清洁,采用电阻率15MΩ·cm以上的去离子水或超纯水进行超声清洗,随后以氮气吹扫。检测方法包括黑光灯或紫外灯目视检查及设备检测。包装为双层真空包装。适用于对颗粒物敏感的部件。

一级清洗:去除金属离子及微小颗粒物。一般清洗后在千级洁净环境下进一步清洁,经过酸洗工艺后,采用电阻率18MΩ·cm以上的超纯水进行超声清洗,以氮气吹扫。检测方法采用VPD ICP-MS(气相分解电感耦合等离子体质谱)。包装为双层真空包装。适用于与晶圆直接接触的部件,如半导体风管、晶圆通风管、芯片排气管、排风管、热风管及超高洁净排气管等。

如需了解该产品的技术参数或选型建议,欢迎联系我司技术团队。