截至2026年5月15日 10:35，中证半导体材料设备主题指数(931743)强势上涨3.16%，成分股中巨芯上涨20.01%，江化微上涨10.00%，富创精密上涨8.46%，中微公司，华海清科等个股跟涨。半导体设备ETF华夏(562590)上涨3.03%，最新价报2.48元。拉长时间看，截至2026年5月14日，半导体设备ETF华夏近1周累计上涨8.90%。（以上所列股票仅为指数成份股，无特定推荐之意）

流动性方面，半导体设备ETF华夏盘中换手率5.81%，成交额1.80亿元。拉长时间看，截至5月14日，半导体设备ETF华夏近1周日均成交额3.02亿元。

规模方面，半导体设备ETF华夏近1周规模增长2.30亿元。（数据来源：Wind）

截至5月14日，半导体设备ETF华夏近6月净值上涨58.86%。

跟踪精度方面，截至2026年5月14日，半导体设备ETF华夏今年以来跟踪误差为0.013%，在可比基金中跟踪精度最高。

半导体设备ETF华夏(562590)，场外联接(华夏半导体材料设备ETF联接A：020356；华夏半导体材料设备ETF联接C：020357)。

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