5月20日，半导体设备ETF国泰（159516）报收1.336元，收涨5.28%，成交金额43.42亿元。净流入金额达8.11亿元，居于可比基金第一。

拉长时间看，该基金近4天资金净流入，累计流入22.28亿元。

资金流入也带来了份额的增长，该基金最新份额较前一日增长62000万份，增至214.51亿份。与此同时，该基金最新规模达286.78亿元。

半导体设备ETF国泰（159516）的场外联接基金为：国泰中证半导体材料设备主题ETF发起联接A（019632.OF）、国泰中证半导体材料设备主题ETF发起联接C（019633.OF）。