国家知识产权局信息显示,安徽四象半导体材料科技有限公司申请一项名为“一种硅片加工用的边缘防过抛化学机械抛光设备”的专利,公开号CN122094422A,申请日期为2026年3月。

专利摘要显示,本发明涉及化学机械拋光技术领域,并公开了一种硅片加工用的边缘防过抛化学机械抛光设备,包括抛光模块,所述抛光模块包括基座,所述基座的内部转动连接有抛光盘。该硅片加工用的边缘防过抛化学机械拋光设备,能够有效地解决现有技术中,化学机械抛光设备中的限位环采用一体式固定设计,限位环的内直径通常略大于硅片直径,但由于硅晶片本身质地脆、抗冲击性差,上料时硅晶片边缘易与限位环内壁发生挤压、摩擦,极易发生硅晶片碎裂、崩边的情况;若为避免上料碎裂问题,将限位环内径设计得比硅片直径过大,虽能降低上料时的碰撞风险,但抛光过程中,硅晶片在限位环内会发生偏移、晃动,会影响硅片表面抛光平整度和加工精度的问题。

天眼查资料显示,安徽四象半导体材料科技有限公司,成立于2022年,位于合肥市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本6947.2万人民币。通过天眼查大数据分析,安徽四象半导体材料科技有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目11次,财产线索方面有商标信息10条,专利信息29条,此外企业还拥有行政许可13个。

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作者:情报员