9年布局精密检测，2026到底新在哪？|mems|光学|显微镜|精密检测|纳米技术

近年来，随着纳米技术在半导体、生物医药、新材料等前沿领域的深度融合与广泛应用，其对精密检测技术的依赖日益凸显。尤其在AI视觉、多模态融合、量子传感等新兴技术的融合推动下，精密检测正步入以“智能化、高精度、全流程”为特征的产业变革新阶段，成为驱动纳米科技从实验室走向产业化的重要支撑。

中国国际纳米技术产业博览会（简称 “纳博会 ®”）是国内规模最大的纳米技术专业展会。历经多年高品质深耕办展，纳博会已集聚众多精密检测领域头部企业。

为顺应纳米产业对精密检测技术的迫切需求，纳博会于2024年首次增设精密检测专区，聚焦微观尺度测量、分析与测试技术。2025年专区的参展企业数量较2024年实现翻倍，汇聚KLA、胜科纳米、卡尔蔡司、韩国 Park、国仪量子、中科科仪等50余家全球顶尖企业，集中展示高端仪器设备与行业解决方案。

2025年精密检测专区现场

为进一步搭建纳米科技全产业链专业检测交流平台，第十六届纳博会将原有精密检测专区升级为2026精密检测分析展，展区将覆盖封装测试、计量校准、检测装备、自动光学检测（AOI）等重点细分领域。

2026年10月21-23日

苏州国际博览中心

亮点抢先看

行业巨头齐聚，前沿技术亮相

具体展示范围：

原子力显微镜、反向散射探测器、金相显微镜、偏光显微镜、荧光显微镜、电子显微镜、质谱仪、拉曼显微镜、生物显微镜、透射电子显微镜、成像多光子显微镜、飞纳台式扫描电镜、扫描电化学显微镜、材料表征、智能荧光显微成像仪、电镜检测、蓝光三维扫描仪等。

部分参展企业：

精密检测分析展目前已确认KLA、晶方半导体、歌尔微电子、共进微、胜科纳米、卡尔蔡司、国仪量子、Lyncée Tec SA、速普仪器、微界光学、惠然微电子、联合光科、富睿思、松山湖实验室等60余家国内外精密检测企业参展。现场还将展示第三方失效分析实验室、原子力显微镜等各类显微镜、光学检测、材料表征、电镜检测、拉力测试、纳米定位/扫描平台、精密位移传感等代表企业及设备，真正实现“一站式看全产业链，一站式对接顶尖资源”。

已参展企业/单位（持续更新中）

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2026 精密检测分析展邀您共探微观领域最新技术成果，第八届纳博会分析测试应用论坛也将于展馆内同期举办，邀您一起见证多领域应用交融，拓展行业人脉资源，锁定优质合作伙伴，共赴纳米产业新机遇。

同期更多展览板块

截止目前，完整展商名单

（持续更新中）

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纳米技术主展区

纳米新材料、纳米微球，纳米涂层，纳米复合材料、生产设备、分散技术、分析检测仪器、新型能源技术、PM2.5预防设备和耗材等。

中国国际微纳制造与传感器展

MEMS加工装备、纳米压印技术、微制程技术、分析检测、MEMS器件、MEMS器件及应用，MEMS融合接合技术，下一代光刻技术。

第三代半导体及应用展

氮化镓（GaN）和碳化硅（SiC）、氧化镓、氮化铝、金刚石等第三代半导体衬底、外延材料，光刻胶、光掩膜版、CMP抛光材料、光阻材料、湿电子化学品等半导体材料，半导体生产、封装以及其他电子专用设备，化合物半导体射频器件、功率器件、LED照明显示等上下游产业链及创新应用。

MEMS制造专区

MEMS晶圆制造验证-初试-中试-量产、MEMS封装测试、MEMS特殊工艺、失效分析、产线设备等。

具身感知专区

微型传感器、控制器、执行器、高性能电机、驱动器、通信模块、机器人关节、动力传达、仿生皮肤材料、语音拾取/识别、触觉反馈、手势识别、激光雷达、农业/物流/工业/医疗/军事/环境等各应用场景机器人。

先进电子材料专区

硅、锗等半导体材料、稀有金属材料、化合物半导体材料、介电材料、压电与铁电材料、导电金属及其合金材料、磁性材料、光电子材料、电磁波屏蔽材料电子陶瓷、高分子材料、绝缘介质材料、压电晶体材料、电子精细化工材料、电子轻建纺（电子纺织品）、锡焊、PCB制作材料、其它电子材料。

材料制备专区

管式炉、箱式炉、真空烧结炉、感应炉；化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）、磁控溅射、电子束蒸发；球磨机/高能球磨机等纳米研磨设备(干湿法、卧式、三棍研磨等）、静电纺丝、喷雾干燥机；3D打印、金属/陶瓷/高分子增材制造、热压机、高分子材料精密成型；真空系统、离心机、分子泵、机械泵；手套箱、超临界干燥设备、等离子体设备、分散设备等。

长三角光电产业专区

光通信芯片、激光器芯片、探测器芯片、光开关、红外传感芯片、MEMS光传感芯片、半导体激光器、显示光电Mini/Micro LED 芯片、OLED 发光器件、硅光集成、硅光子芯片、硅光模块、硅光封装、光传感应用、车载激光雷达等。

光刻胶及耗材专区

G 线、I 线、KrF、ArF（干法/浸没）、EUV等光刻胶，正/负性胶，纳米压印、剥离、特种光刻胶；掩膜版、抗反射涂层、涂胶/显影配套；树脂、聚合物、单体、有机溶剂、高纯试剂、电子特气等。

纳创赛决赛企业展团

纳创赛进入决赛企业，包括半导体原材料制备、MEMS器件、功率射频器件、传感器件、分立器件、光电器件等设计、制造、封测、应用企业。

国家第三代半导体技术创新展团

以国家第三代半导体创新中心为主导，涵盖氮化镓、碳化硅（SiC）、蓝宝石等第三代半导体材料、设计、器件、制造和应用企业。

国际展团

日、韩等国际代表企业。