6月8日的清晨,深圳南山迎来了一个改写行业格局的时刻。此前日本依靠技术垄断封锁赛道二十年,如今中国只用十个月便完成赶超,还把相关产品价格降到了极低水平。
车间内,一台被红绸遮蔽三月的设备缓缓亮相。代号PL-AS的它身形小巧,静静矗立在无尘车间中,模样平平无奇。
但这份低调之下,蕴藏着撼动全球光刻产业的力量,荷兰ASML、日本佳能都因此感受到了巨大压力。从这台设备面世起,中国光芯片产业终于不用再四处寻求外部技术支持。
它不走寻常路,既不追赶主流的 DUV 赛道,也不执着于 EUV 概念研发,是璞璘科技为光芯片量身打造的纳米压印光刻设备,目前已交付深圳力策科技。研发团队果断舍弃深紫外、极紫外这条被行业沿用三十年的固有路线,开辟出全新方向。
外界用技术封锁束缚我们三年,我们却在对手忽略的领域实现突围,一举砸碎了技术枷锁。
2026年6月8日,深圳南山半导体产业圈传来重磅喜讯,国内首台专为光芯片定制的PL-AS真空气压式晶圆级纳米压印光刻机正式完成交付,由璞璘科技研发落地深圳力策科技,并顺利通过8英寸光芯片晶圆量产实测。
这台沉寂车间三月、低调揭幕的国产设备,看似造型朴素,却直接冲击了荷兰ASML、日本佳能长期垄断的全球光刻产业格局,标志着中国光芯片制造彻底摆脱海外设备桎梏,告别了“求人借光”的被动局面。
深耕半导体行业的从业者都清楚,过去二十年间,日本牢牢掌控纳米压印光刻核心技术与设备供应链,长期对我国实施严苛的技术封锁和设备禁售。
在传统光刻赛道,海外巨头凭借数十年技术积累,在DUV、EUV光学光刻领域构筑起严密的专利壁垒,国内高端芯片制造设备高度依赖进口。近三年,海外持续加码半导体技术管制,进一步收紧光刻设备出口权限,让本就受制的国内光芯片产业,陷入产能受限、成本偏高、供应链不安全的多重困境,产业规模化发展举步维艰。
在全行业扎堆攻坚传统光刻路线、追赶海外成熟技术的大背景下,国内科创团队另辟蹊径,走出了一条差异化突围道路。璞璘科技摒弃跟风内卷的研发思路,彻底绕开深紫外、极紫外的传统光学光刻路径,仅用十个月集中攻坚,就突破了海外封锁二十年的纳米压印核心技术。
此次交付的PL-AS设备绝非实验室概念样机,而是经过多轮工艺迭代、通过商业化量产验证的成熟装备,实打实实现了国产光刻技术的换道反超,为国内光芯片产业打开全新发展空间。
本次交付的PL-AS纳米压印光刻机,最核心的颠覆性价值,在于兼顾高端制程精度的同时,实现了制造成本的断崖式下降,其量产成本仅为传统DUV光刻方案的十分之一,直接拉低高端光芯片量产的行业门槛,彻底解决了制约产业普及的核心痛点。
光芯片是5G/6G光通信、自动驾驶激光雷达、AI高速算力互联的核心元器件,此前迟迟无法大规模商用,核心原因就是传统光刻设备采购、运维、能耗成本高昂,叠加繁琐的加工工序,大幅抬高了下游终端产品的生产成本。
该设备彻底颠覆传统光学光刻的成像原理,跳出光学衍射极限的技术桎梏,采用纳米级高精度模板直接机械压印成型,无需复杂的光学镜头和高端光源系统。
依托自主研发的真空气压式面接触工艺,设备可实现8英寸晶圆整面均匀压印,压力均匀性误差控制在0.5%以内,晶圆残余层厚度偏差不超过2nm,完美解决了传统辊压工艺易形变、步进式工艺效率低下的行业难题,量产良率稳定维持在95%以上,工艺水准完全对标国际顶尖DUV设备。
性能层面,PL-AS设备实现了全方位国产突破,线宽分辨率可达10nm级别,能够稳定加工各类高端光芯片微纳结构,兼容硅基、砷化镓、磷化铟等多种脆性半导体衬底,可全面覆盖光通信传感、车载激光雷达OPA、AI算力硅光等主流光芯片量产需求。
相较于传统光刻设备,它结构精简、能耗极低,耗电量仅为EUV光刻机的十分之一,后期运维、耗材成本大幅降低,真正实现了高精度、低成本、高效率的量产优势,适配商业化大规模落地需求。
更关键的是,璞璘科技完成了全链条自主可控布局,不仅吃透气压、辊压、步进式三大纳米压印核心工艺,还自研配套压印胶材料、专属控制系统和定制化模板工艺,搭建起“设备-材料-工艺”一体化国产产业闭环。
从核心零部件到底层技术逻辑,彻底摆脱海外专利捆绑与技术限制,一举打破日本企业在纳米压印细分领域的长期独家垄断。
长期以来,全球光刻产业形成了稳固的寡头格局,ASML垄断高端EUV、DUV市场,日本佳能、尼康把控纳米压印细分赛道,国内企业始终处于被动跟随的弱势地位。
行业普遍认为国产光刻突破需对标追赶海外传统路线,而PL-AS设备的成功落地,印证了中国半导体换道超车的核心逻辑:不深耕海外早已锁死专利、固化技术的传统赛道,而是找准细分缺口,以差异化创新实现跨越式反超。
相较于传统光刻技术的高成本、高门槛、高内卷短板,纳米压印技术与光芯片量产需求高度适配。光芯片无需逻辑芯片的极致精密制程,更看重量产稳定性与成本可控性,这恰好是国产PL-AS设备的核心优势。
此前,国内高端光芯片高度依赖进口,海外厂商凭借垄断优势随意定价、管控供货节奏,持续压制国内车企、通信、AI企业的发展。如今国产设备实现商用落地,直接打破海外供应链垄断,让国内重新掌握光芯片产业定价主动权。
从战略层面来看,此次突破的价值远超单台设备的技术落地。近三年,海外持续出台半导体管制政策,试图通过封锁光刻核心技术,遏制我国高端芯片产业升级,光芯片作为关键细分赛道,更是被重点针对。
面对严苛的技术封锁,国内团队仅用十个月完成技术攻坚、设备迭代、量产验证全流程,打破日本二十年技术壁垒,用硬核创新实现了“封锁催生突破、困境倒逼革新”的产业逆袭。
目前,PL-AS设备已完成多项商用实测,可稳定规模化制备大口径激光雷达OPA芯片,攻克了脆性半导体衬底精密加工的行业难题,既能为国产自动驾驶产业大幅降本增效,也为AI算力光互联、高速光通信产业扫清了量产障碍。
随着设备批量投产落地,国内将彻底终结光芯片制造设备进口依赖,形成全自主可控的量产体系,带动上下游材料、芯片设计、终端应用产业协同升级,完善国产半导体细分产业链条。
纵观全球半导体产业发展史,产业格局的每一次重塑,都源于颠覆性技术创新,而非同质化赛道内卷。
此次国产纳米压印光刻机突破,绝非简单的低端国产替代,而是赛道级的规则重构。未来,随着技术持续迭代优化,这套国产压印光刻方案将逐步拓展至存储芯片、微显芯片、MEMS传感器等高端半导体领域,持续扩大国产光刻的市场话语权。
在2026年全球半导体竞争加剧的背景下,这项突破为我国光芯片产业筑牢了发展根基,也为全国半导体产业自主化升级注入了强劲动力。
信息来源:新浪财经:国产光刻新突破!我国首台光芯片纳米压印光刻机正式交付
和讯网:技术颠覆?光芯片压印,成本仅DUV的1/10!多只大牛股,下周解禁
热门跟贴