国家知识产权局信息显示，理想万里晖半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名为“腔盖驱动模块以及ALD设备”的专利，公开号CN122189607A，申请日期为2026年4月。

专利摘要显示，本发明公开腔盖驱动模块以及ALD设备。腔盖驱动模块包括：依次穿设在腔盖的四个角上的第一至第四导向轴，竖直安装在腔盖边缘区域、沿着腔盖中心呈中心对称排布并且偏离腔盖中心轴的第一、第二气缸，沿着腔盖的一个对角线安装并分别套装在第一、第三导向轴上的第一、第二直线轴承，沿着腔盖的另一个对角线进行安装并且分别套装在第二、第四导向轴上的第一、第二无油衬套；第一、第二气缸通过第一、第二活塞杆的上下运动从而驱动腔盖上下移动，安装在腔盖上的第一直线轴承、第一无油衬套、第二直线轴承及第二无油衬套分别相应沿第一至第四导向轴上下移动。本发明能避免腔盖驱动时出现卡滞、磨损、异响、腔盖倾斜、翘曲或者腔体变形现象。

天眼查资料显示，理想万里晖半导体设备（上海）股份有限公司，成立于2013年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本23512.8795万人民币。通过天眼查大数据分析，理想万里晖半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目9次，财产线索方面有商标信息14条，专利信息139条，此外企业还拥有行政许可50个。

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作者：情报员