Dummy挡片是半导体量产制程的必备耗材,主要用于平衡炉管温场,填补工艺空位,稳定气流分布,校准设备参数,有效解决量产过程中边缘片工艺不均、温场偏移、腔体损耗过快的行业问题,保障了整批晶圆工艺一致性、延长设备寿命的关键物料。

在半导体晶圆制造、芯片封测与批量量产环节中,再生晶圆与Dummy挡片是保障制程稳定性,统一工艺基准,保护核心设备的配套耗材。广泛应用于薄膜沉积、刻蚀、抛光、清洗、离子注入、机台校准、良率测试等全流程场景,是半导体工厂降本、增效的刚需物料。

针对行业全尺寸制程需求,国芯思辰现推出6英寸、8英寸、12英寸全规格再生晶圆与Dummy挡片系列产品,依托精密再生打磨、超洁净清洗、微米级平整度管控、无损伤工艺处理,兼顾品质与性价比,适配实验室研发、小批量试产、大规模量产、设备维护校准等各类工况,为半导体企业提供稳定、可靠的标准化解决方案。

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再生晶圆通过表面剥离、精密研磨、化学抛光、超洁净清洗、颗粒检测、平整度复检多道精密工序再生处理,彻底去除原有表面膜层、划痕、污渍与工艺残留,恢复晶圆基底平整特性,可完全替代新晶圆用于工艺调试、制程验证、工艺优化等非出货制程场景。

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我们始终以半导体量产标准严控产品品质,从原料筛选、再生加工、精密打磨、洁净清洗、参数检测、真空封装全流程标准化管控,6/8/12英寸全规格再生晶圆、Dummy挡片的高稳定性能,匹配半导体研发、试产、量产全流程需求,助力半导体企业实现工艺稳定升级与生产成本精准管控。

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