国家知识产权局信息显示，江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“一种半导体处理装置、反应腔清洗方法以及半导体镀膜设备”的专利，公开号CN122279549A，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本申请涉及半导体加工设备技术领域，公开一种半导体处理装置、反应腔清洗方法以及半导体镀膜设备。其中，所述半导体处理装置，包括：第一气体源，被配置为通过进气管路向喷淋板输送辅助清洗气体，以使所述辅助清洗气体经由所述喷淋板进入反应腔；第二气体源，被配置为通过第一通气管路和第二通气管路输送辅助清洗气体，以使所述辅助清洗气体经由所述反应腔的侧壁进入所述反应腔；射频电极，设置于所述反应腔内，被配置为对所述反应腔内的辅助清洗气体进行等离子化，以使离子状态下的辅助清洗气体对二次沉积在反应腔内的颗粒副产物进行离子轰击。

天眼查资料显示，江苏微导纳米科技股份有限公司，成立于2015年，位于无锡市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本46115.7283万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目57次，财产线索方面有商标信息89条，专利信息664条，此外企业还拥有行政许可69个。

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作者：情报员