国家知识产权局信息显示,北京大学;北京知识产权运营管理有限公司申请一项名为“堆叠晶体管及其制备方法、半导体器件、电子设备”的专利,公开号CN122318297A,申请日期为2026年3月。

专利摘要显示,本申请提供了一种堆叠晶体管及其制备方法、半导体器件、电子设备,该方法包括:在衬底上形成堆叠结构;堆叠结构在第一方向上包括依次堆叠的正面有源层、第一牺牲层、背面有源层、第二牺牲层和第三牺牲层;刻蚀堆叠结构,形成有源结构;在衬底上沉积绝缘材料,形成浅沟槽隔离层;通过热氧化,在有源结构上形成第一栅氧化层;形成伪栅结构;第一次倒片,并减薄衬底,以暴露浅沟槽隔离层;形成背面晶体管;第二次倒片;形成正面晶体管;在第一次倒片之前或第一次倒片之后,该方法还包括:暴露背面有源结构中远离正面有源结构的第一表面;对第一表面进行热氧化处理,形成第二栅氧化层;第二栅氧化层和第一栅氧化层共同包裹有源结构。

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作者:情报员