国家知识产权局信息显示,江苏鲁汶仪器股份有限公司申请一项名为“一种晶圆调整方法及晶圆调整系统”的专利,公开号CN122341139A,申请日期为2024年12月。

专利摘要显示,本申请提供一种晶圆调整方法及晶圆调整系统,打开光源(105),通过相机(106)对位于端面上方的部分晶圆(103)进行图像采集,得到第一图像;第一图像包括缺口(1031)和标志位(109);对第一图像进行图像处理,得到晶圆(103)的朝向方向与离子束方向之间的偏离角度;计算偏离角度和目标角度的差异,得到转台(101)的旋转角度;通过转台(101)带动承载台(102)以旋转角度进行旋转,使得晶圆(103)的朝向方向与离子束方向之间的角度达到目标角度。本申请调整后的晶圆(103)的朝向更加准确,从而方便后续对晶圆(103)进行准确的工艺处理,避免对腔室(100)空间的占用,且不会影响后续的工艺过程,对工艺影响基本可以忽略不计。

天眼查资料显示,江苏鲁汶仪器股份有限公司,成立于2015年,位于徐州市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本19584.6238万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目272次,财产线索方面有商标信息36条,专利信息540条,此外企业还拥有行政许可14个。

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作者:情报员