近日，国产首台生产型电子束光刻机（EBL）中试验证突破性进展发布暨合作框架签约仪式于深圳平湖实验室举办。中电科电子装备集团、中电科四十八所与深圳平湖实验室达成协同合作，正式发布设备关键技术成果并签署长期合作协议，或标志国内高端光刻装备自主化、工程化落地取得里程碑进展。电子束光刻机是制备高端掩膜版、量子芯片、先进特色工艺器件的核心设备，长期受海外技术与出口约束，是半导体产业链关键卡点。本次国产生产型EBL设备完成中试验证，叠加产业、科研平台深度协同机制落地，或有助于补齐先进芯片研发、掩膜制造环节设备短板，带动光刻光学、精密零部件、配套光刻材料上下游协同迭代，本土半导体设备全链条成长空间或有望逐步拓宽。

南方基金郑晓曦关注半导体产业链投资机遇。她管理的南方信息创新混合持仓聚焦科技自立自强，其2026年度一季报显示，其前十大重仓股中包括拓荆科技、北方华创、中微公司等拥有领先技术的国产半导体产业链龙头企业。另一只产品南方半导体产业股票则深耕半导体芯片产业，尤其是光刻机模块，其2026年度一季报显示，其前十大重仓股中包括奥普光电、茂莱光学等国产核心企业。

南方信息创新混合（A类：007490/C类：007491）

南方半导体产业股票发起（A类：020553/C类：020554）

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