国家知识产权局信息显示,苏州赛腾精密电子股份有限公司申请一项名为“一种边缘测量设备及边缘测量方法”的专利,公开号CN122360333A,申请日期为2026年4月。

专利摘要显示,本申请公开了一种边缘测量设备,设备包括边缘夹持机构,夹持晶圆的外圆周侧面;旋转驱动机构,与边缘夹持机构连接,驱动被夹持的晶圆旋转;位置感知模块,采集晶圆边缘数据,确定缺口位置和夹持位置;边缘成像测量模块,在晶圆处于未遮挡测量角度时进行测量,得到第一测量结果;在获取到位置改变信号时,在晶圆至遮挡测量角度时进行测量,得到第二测量结果;系统控制器根据缺口位置、夹持位置以及多个预设测量角度,识别遮挡测量角度和未遮挡测量角度;在获取到第一测量结果时,控制边缘夹持机构执行换爪操作;将第一测量结果与第二测量结果融合,生成边缘测量结果;提升了晶圆边缘测量的洁净度、安全性、检测效率、数据全面性与智能化水平。

天眼查资料显示,苏州赛腾精密电子股份有限公司,成立于2007年,位于苏州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本27117.4033万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州赛腾精密电子股份有限公司共对外投资了14家企业,参与招投标项目10次,财产线索方面有商标信息49条,专利信息853条,此外企业还拥有行政许可21个。

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作者:情报员