国家知识产权局信息显示,美满芯盛(杭州)微电子有限公司申请一项名为“一种振膜-背板倒置结构的MEMS绝压式压力传感器”的专利,公开号CN122360774A,申请日期为2026年5月。

专利摘要显示,本发明公开了一种振膜背板倒置结构的MEMS绝压式压力传感器,包括:第一衬底,其设置背腔;固定背板,其设于第一衬底的一端面上,固定背板设置释放孔;支撑层、第一电极,其均于固定背板上,第一电极由引出窗口延伸至支撑层的表面;可动振膜,其设于固定背板、支撑层的外侧,可动振膜为无任何通孔的全密封完整结构,其与固定背板之间形成悬空电容空腔,悬空电容空腔与释放孔、背腔连通,第一衬底、固定背板、支撑层、可动振膜之间均设置牺牲层;第二电极,其设于可动振膜上;第二衬底,其设于第一衬底的另一端面上。本发明具有量产兼容性强、成本极低、检测性能优异、基准稳定性与可靠性突出、环境适应性强、体积小巧等优势。

天眼查资料显示,美满芯盛(杭州)微电子有限公司,成立于2021年,位于杭州市,是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本1750万人民币。通过天眼查大数据分析,美满芯盛(杭州)微电子有限公司参与招投标项目4次,财产线索方面有商标信息3条,专利信息53条。

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作者:情报员