国家知识产权局信息显示,三河建华高科有限责任公司申请一项名为“高效8英寸方片晶圆预对准装置”的专利,公开号CN122373745A,申请日期为2026年4月。

专利摘要显示,本发明公开了高效8英寸方片晶圆预对准装置,涉及IC制造工艺领域,包括下底板,用于作为刚性安装平台使用,还包括:主体机构,用于整体装置支撑连接,调整机构,用于对基片的推入或推出进行调整使用,拾取机构,用于基片的拾取和释放,该装置的优点在于:专门针对英寸方片晶圆设计,通过吸盘非接触式拾取与释放,有效降低晶圆表面污染风险;采用模块化布局,调整机构与拾取机构分别集成于上盖板顶部与内部,结构紧凑、优化合理,提升了系统稳定性与维护便捷性;调整机构中轴承模组与推进气缸配合实现精准推片,拾取机构中电缸与定位轴确保升降定位准确,整体可实现±0.1mm以内的高精度对准,满足新型半导体制造中方片晶圆的预对准工艺要求。

天眼查资料显示,三河建华高科有限责任公司,成立于2003年,位于廊坊市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本4200万人民币。通过天眼查大数据分析,三河建华高科有限责任公司参与招投标项目57次,专利信息125条,此外企业还拥有行政许可9个。

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本文源自:市场资讯

作者:情报员