国家知识产权局信息显示，碳方程半导体设备制造（山西）有限公司申请一项名为“一种基于MPCVD微波设备的长晶台抽真空调温方法”的专利，公开号CN122382541A，申请日期为2026年3月。

专利摘要显示，本发明公开了一种基于MPCVD微波设备的长晶台抽真空调温方法，涉及单晶生长技术领域，包括等离子体反应箱，所述等离子体反应箱外侧设置有进气阀，所述等离子体反应箱一侧成型有微波通道，所述等离子体反应箱内部固定连接有石英玻璃，所述石英玻璃顶部固定安装有样品台，所述样品台顶部固定安装有长晶台，所述样品台底部设置有水冷组件，所述水冷组件包括样品台底部固定安装的外层水管、外层水管内部设置的内层水管、内层水管内部设置的气管和外层水管底部设置的水管接头，控制长晶台内部真空压力的方法控制热传导效率，对长晶台温度调节过程中需要控制的变量只有气压，温度调节连续性和可控性较好，可适应更多的生产工艺温度。

天眼查资料显示，碳方程半导体设备制造（山西）有限公司，成立于2023年，位于太原市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本200万人民币。通过天眼查大数据分析，碳方程半导体设备制造（山西）有限公司参与招投标项目7次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息5条。

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作者：情报员