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英特尔已开始使用 ASML 的下一代高数值孔径(HighNA)极紫外(EUV)光刻机——该设备可将电路图案印刷到微芯片上——用于生产部分PantherLake处理器。
7月15日,财闻海外资讯消息,全球光刻机巨头阿斯麦(ASML.US)表示,英特尔(INTC.US)已决定采用该公司的高端设备来生产部分旗舰级Panther Lake系列笔记本芯片,此举将有助于这家芯片制造商更高效地运用该制造工具。
ASML表示,英特尔已开始使用 ASML 的下一代高数值孔径(HighNA)极紫外(EUV)光刻机——该设备可将电路图案印刷到微芯片上——用于生产部分PantherLake处理器。
该公司采用其18A制造工艺生产Panther Lake芯片,并已使用标准 EUV 光刻设备进行生产。光刻技术是利用光线在芯片表面绘制构成电路的复杂图案的工艺。
业界一直在争论何时开始部署高数值孔径(High NA)技术工具才具有经济合理性;未来芯片制造商在持续缩小构成芯片的原子级特征尺寸时,很可能仍会需要这些工具。高数值孔径(High NA)设备成本约为4亿美元,是标准 EUV 设备价格的两倍。该设备在技术上也难以顺利应用于生产流程。
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