英特尔已决定采用光刻机制造商阿斯麦的下一代高数值孔径极紫外光刻机,用于生产部分旗舰级Panther Lake笔记本电脑芯片。阿斯麦披露,此举将有助于英特尔更有效地积累该高端设备的实际应用经验。

英特尔自2024年起展开相关试验,目前已开始使用该设备进行制造。该光刻机的作用是将电路图案转印到晶圆上,以支持部分Panther Lake处理器的生产。

这款高数值孔径光刻设备单价约为4亿美元,是标准极紫外光刻机的两倍,将其应用于生产流程在技术上也极具挑战性。

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作者:疏桐