国家知识产权局信息显示，朗姆研究公司申请一项名为“使用亚稳态活化自由基物质的选择性碳移除处理工艺”的专利，公开号CN122439455A，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，提供了使用亚稳态活化自由基物质来蚀刻衬底的方法。所述方法包含：将上面沉积有目标材料的衬底提供至具有处理区域的处理室；在远程等离子体产生器中产生惰性气体的自由基；将所述自由基引入所述处理区域中；于所述远程等离子体产生器的下游引入蚀刻气体，其中所述蚀刻气体于所述处理区域中与所述自由基反应以形成蚀刻物质；以及将所述目标材料暴露于所述处理区域中的所述蚀刻物质。

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作者：情报员