国家知识产权局信息显示，深圳市新凯来工业机器有限公司申请一项名为“工艺腔室及刻蚀设备”的专利，公开号CN122455626A，申请日期为2026年4月。

专利摘要显示，本申请提供一种工艺腔室及刻蚀设备，涉及半导体设备领域。工艺腔室包括上腔组件和下腔组件，下腔组件包括壳体和下电极，壳体设置有容置腔和连通容置腔的安装口，下电极位于容置腔内；上腔组件包括上电极和导电内衬，上电极与壳体连接，上电极封盖安装口，导电内衬连接于上电极，并与壳体间隔设置，导电内衬用于接地，上电极、导电内衬和下电极围合形成反应腔。上腔组件和下腔组件之间通过上电极和壳体实现合盖，导电内衬与壳体间隔，使导电内衬在装配时不会与壳体接触，上电极和下电极共用导电内衬形成电回路，导电内衬具有大的面积，能减小副产物对导电内衬的导电性产生的不良影响，提高电流稳定性。

天眼查资料显示，深圳市新凯来工业机器有限公司，成立于2022年，位于深圳市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本108140万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市新凯来工业机器有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目18次，财产线索方面有商标信息23条，专利信息326条，此外企业还拥有行政许可15个。

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作者：情报员