国家知识产权局信息显示,圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司申请一项名为“镀膜设备的控制方法、膜层的制备方法、太阳能电池”的专利,公开号CN122446155A,申请日期为2026年4月。
专利摘要显示,本发明公开了基于管式PECVD镀膜设备的控制方法、太阳能电池膜层制备方法、太阳能电池。管式PECVD镀膜设备的控制方法包括:第一射频电源和第二射频电源共同运行期间均以脉冲模式工作,第一射频电源的一部分上升沿与第二射频电源的至少一部分上升沿不重合,能够避免两个石墨舟之间的瞬态电场过大,防止工艺气体在过大的瞬态电场电离形成粉末,在此基础上,第一射频电源的脉冲宽度与第二射频电源的脉冲宽度部分重叠,增强协同作用。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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