国家知识产权局信息显示,长鑫科技集团股份有限公司申请一项名为“形成图案的方法”的专利,公开号CN122476888A,申请日期为2025年1月。
专利摘要显示,本公开实施例涉及半导体领域,提供一种形成图案的方法,通过在衬底上依次形成掩膜层和图案转移层,图案转移层包括依次堆叠的第一抗反射层、中间层和第二抗反射层;依次图案化刻蚀第二抗反射层、中间层和第一抗反射层,以形成第一沟槽,第一沟槽暴露部分掩膜层;通过形成依次堆叠的第一抗反射层、中间层和第二抗反射层,能够精确控制刻蚀后的第二抗反射层的形状,保证图案形成质量和图案尺寸的精确度。
天眼查资料显示,长鑫科技集团股份有限公司,成立于2016年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本6019279.7469万人民币。通过天眼查大数据分析,长鑫科技集团股份有限公司共对外投资了16家企业,参与招投标项目1082次,财产线索方面有商标信息301条,专利信息706条,此外企业还拥有行政许可39个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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