国家知识产权局信息显示，埃克斯控股（北京）有限公司申请一项名为“一种半导体设备清洁验证方法及系统”的专利，公开号CN122494534A，申请日期为2026年7月。

专利摘要显示，本发明涉及半导体制造设备控制技术领域，具体涉及一种半导体设备清洁验证方法及系统。其中，方法包括：识别所述半导体设备所处的场景信息；根据所述场景信息通过设定快检推荐规则为所述半导体设备配置快检方案；采用所述快检方案对所述半导体设备进行检验，并获取到对应快检结果；当所述快检结果报错时，根据报错类型通过设定的补检推荐规则选择补检方案；当所述快检结果不报错时，则直接输出验证结果，且所述验证结果为准确；采用所述补检方案对所述半导体设备进行补充验证，并获取到补检结果。本发明能够提升半导体机台设备的清洁验证效率。

天眼查资料显示，埃克斯控股（北京）有限公司，成立于2017年，位于北京市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本6419.9781万人民币。通过天眼查大数据分析，埃克斯控股（北京）有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目76次，财产线索方面有商标信息46条，专利信息117条，此外企业还拥有行政许可17个。

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作者：情报员