国家知识产权局信息显示,三河建华高科有限责任公司申请一项名为“一种基于视觉的晶圆预对准装置及方法”的专利,公开号CN122514224A,申请日期为2026年6月。
专利摘要显示,本发明公开了一种基于视觉的晶圆预对准装置及方法,涉及光刻工艺领域,包括晶圆承载与旋转单元、视觉采集单元、相机位置调节单元以及控制与处理单元,晶圆承载与旋转单元包括固定安装在设备底座上表面的放置架,放置架顶端中部转动安装有晶圆承载台,放置架内部设置有旋转驱动部,旋转驱动部通过联轴器与晶圆承载台之间传动连接,晶圆承载台上表面固定安装有若干真空吸盘;通过视觉采集单元与预对准核心算法的协同作用,背光光源凸显晶圆缺口轮廓,单目工业相机采集高质量图像,配合SIFT特征提取算法、圆拟合算法精准提取特征点并计算圆心偏差与旋转角度偏移量,有效补偿旋转累积误差和机械偏差,与现有技术相比提升了对准精度。
天眼查资料显示,三河建华高科有限责任公司,成立于2003年,位于廊坊市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本4200万人民币。通过天眼查大数据分析,三河建华高科有限责任公司参与招投标项目58次,专利信息127条,此外企业还拥有行政许可9个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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