国家知识产权局信息显示,无锡先为科技有限公司取得一项名为“一种反应装置的供气通路以及半导体处理设备”的专利,授权公告号CN224596910U,申请日期为2025年9月。
专利摘要显示,本申请公开了一种反应装置的供气通路以及半导体处理设备,反应装置包括:腔体,设有反应腔以及与反应腔连通的开口端,且开口端设有第一端面;盖体,盖体相对于腔体活动设置;腔体处于关闭状态时,盖体盖设在腔体的开口端上以密封反应腔,盖体设有与第一端面对接的第二端面;至少两个第一密封圈,设置在第一端面与第二端面之间,至少两个第一密封圈、第一端面与第二端面围设形成密封空间;其中,供气通路包括设于腔体的第一通道及设于盖体的第二通道,在腔体处于关闭状态时,第一通道与第二通道对接形成穿设密封空间的连通通道,连通通道用于向盖体输送气体,连通通道相对于密封空间密闭。本申请的设计可以提升反应装置的密封性。
天眼查资料显示,无锡先为科技有限公司,成立于2020年,位于无锡市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本11766.6667万人民币。通过天眼查大数据分析,无锡先为科技有限公司参与招投标项目6次,财产线索方面有商标信息44条,专利信息104条,此外企业还拥有行政许可7个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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