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(来源:第三代半导体产业)

近日,中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“中微公司”)华中总部正式落户光谷,项目聚焦核心半导体设备研发,已于7月28日完成武汉子公司注册,入驻光谷存算双创园,预计明年初正式投入运营。

 中微公司生产车间
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中微公司生产车间

中微公司成立于2004年,是国内半导体设备龙头企业,已开发出54种高端半导体设备,包括26种高能和低能等离子体刻蚀机设备,24种各类薄膜设备、化学机械抛光设备和量检测设备。刻蚀设备已覆盖65纳米到3纳米工艺节点,刻蚀和薄膜设备的加工的精度已经达到了原子级水平。公司累计已有超过8800个反应台应在国内外220余条生产线实现量产,2025年实现营收约123.8亿元,经营业绩创历史新高,未来整体生产能力将提升至700亿元。

中微半导体设备(武汉)有限公司已于7月28日完成注册,注册资本5000万元,将入驻光谷存算双创园。项目聚焦核心半导体设备研发,计划建设华中总部及研发中心,开展薄膜、刻蚀、外延等核心半导体设备的研发,服务武汉乃至华中地区重点客户。预计落户员工约300人,其中研发人员达100人。

光谷是全国四大集成电路产业基地之一,集聚产业链企业超300家,形成了硅基半导体与化合物半导体双轮驱动的产业布局,覆盖芯片设计、材料、制造到封测全链条。2025年光谷集成电路产业规模突破千亿元,目前已成立集成电路产业发展专班,加速建设化合物半导体、存储器两个千亿级产业创新街区,打造世界一流集成电路产业生态。

年度盛会:第十二届国际第三代半导体论坛&第二十三届中国国际半导体照明论坛(IFWS&SSLCHINA 2026)将于2026年11月16-19日在苏州召开。论坛作为汇聚政、产、学、研、用、资全链条优质资源,融通全球资源的国际化交流合作平台,将为行业创新与跨界融合寻找新的动力源泉,发掘第三代半导体产业发展的新引擎、新动能。论坛论文集被IEEE等多家学术机构收录,影响力覆盖全球产业界与学术界。