国家知识产权局信息显示,ASML荷兰有限公司申请一项名为“颜色选择模块”的专利,公开号CN122555880A,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,一种颜色选择模块,用于输出具有期望的光谱带宽和中心波长的辐射,包括:辐射输入,用于接收输入辐射束;第一色散装置,用于从辐射输入接收输入辐射束并且输出第一色散辐射束;第二色散装置,用于接收第一色散辐射束的至少一部分并且输出第二色散辐射束;辐射输出装置,用于接收所述第二色散辐射束并且从颜色选择模块输出所述第二色散辐射束,由此第二色散装置的旋转改变第二色散辐射束的第二行进方向和第二空间分布,并因此改变由辐射输出装置接收和输出的所述第二色散辐射束的光谱带宽和中心波长。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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