国内首款面向ArF光刻工艺的光罩保护膜产品正式量产，石英6025尺寸基板专用精密抛光生产线全面投入使用……近日，位于杭绍临空示范区绍兴片区的绍兴芯链半导体科技有限公司，在光刻关键材料与精密基板加工领域接连取得重大突破，进一步打通光罩耗材从保护膜到基板的自主制造链路，夯实了我国半导体产业链的自主可控基础。
图为绍兴芯链半导体科技有限公司推出的光罩保护膜产品
光罩保护膜是芯片光刻环节的核心防护耗材，如同光刻“底片”的防尘屏障，能隔绝微尘污染，直接关系到芯片生产良率。特别是随着国内晶圆厂向更先进制程迈进，对光罩材料的透光率、厚度均匀性及缺陷控制提出了更加苛刻的要求。长期以来，“芯链半导体”始终立足市场需求，坚持深耕光刻材料领域，持续完善产品矩阵，精准匹配先进制程严苛要求。
此前，该企业已成功推出多款KrF光罩保护膜产品，有效填补国内空白。此次推出的ArF光罩保护膜，更是将产品线延伸至更先进的工艺节点，标志着“芯链半导体”已完整掌握I-line、KrF、ArF全系列光罩保护膜生产能力，可全方位匹配国内晶圆厂先进制程升级需求。
为确保产品的稳定可靠，“芯链半导体”研发团队突破多重试验难关，完成核心材料配方、精密成型、全流程品控等全方位自主研发，并搭建超高等级超洁净生产车间，从原料制备到成品下线全程隔绝微颗粒污染，做到“产出即洁净”。同时企业打通模具自研、精密加工、批量量产等一体化技术体系，不仅大幅缩短产品的开发周期，更彻底解决了行业普遍存在的批次品质波动难题。
图为绍兴芯链半导体科技有限公司生产的精密抛光产品
如果说ArF光罩保护膜量产是“芯链半导体”在光刻材料领域实现从“点”到“面”的跨越，那么此次石英6025尺寸基板专用精密抛光生产线的投产，则是在“面”上补上了另一块关键拼图。该生产线采用化学机械抛光技术，能够灵活满足多样化的品质需求，完美平衡光滑度与平面精度，有效解决基板瑕疵引发的光线散射、曝光精度下降等行业痛点。目前产线月稳定产能可达4000—5000片，并已规划二期生产基地，远期目标将月产能提升至20000片，持续提升本土基板供给能力。
据介绍，“芯链半导体”成立于2022年底，从2024年首款KrF光罩保护膜下线，到2026年ArF高端光罩保护膜发布、石英基板精密抛光产线投产，仅用不到4年时间就完成跨越式技术落地，走出了一条从核心材料到成品制造的全面自主可控的发展之路。
“芯链半导体”相关负责人表示，半导体高端材料国产替代是长期攻坚战，他们将紧跟国家半导体产业发展战略，继续加大研发投入，持续扩充产能、完善产品矩阵，为缓解国内晶圆、面板企业上游材料供给压力，强化国内半导体全产业链供应安全，推动光刻核心耗材国产替代进程加速向前贡献更大力量。
柯桥传媒集团全媒体记者 俞立权
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