国家知识产权局信息显示,深圳中科飞测科技股份有限公司申请一项名为“一种机台的晶圆产能计算方法、计算装置及计算系统”的专利,公开号CN122594625A,申请日期为2026年6月。

专利摘要显示,本申请公开了一种机台晶圆产能计算方法、计算装置及计算系统,涉及半导体制造器件技术领域,针对现有技术仅输出综合产能数值且无法定位效率下降具体原因,本申请通过晶圆作业的日志数据计算得到晶圆的实际加工时间、等待时间和准备时间,进而计算得到目标机台内部各腔室的WPH,并根据各个腔室的物理拓扑结构得到目标机台的WPH;并当存在多批次连续或交叉作业时采用时间轴投影剔除重叠时间以避免批次晶圆的准备时间重复计算。本申请能够精准区分机台效率下降源于加工、等待还是准备环节,消除多批次重叠造成的重复计算,为晶圆厂实时调度和产能优化提供高精度、可动态更新的产能指标。

天眼查资料显示,深圳中科飞测科技股份有限公司,成立于2014年,位于深圳市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本35016.3237万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳中科飞测科技股份有限公司共对外投资了12家企业,参与招投标项目376次,财产线索方面有商标信息294条,专利信息1132条,此外企业还拥有行政许可45个。

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作者:情报员