国家知识产权局信息显示，科磊股份有限公司申请一项名为“使用多电子束进行高产量检查”的专利，公开号CN122603401A，申请日期为2025年2月。

专利摘要显示，引导可为电子束的远心带电粒子束通过孔隙阵列以将所述远心带电粒子束分成多个远心照明小束。所述远心照明小束通过成像透镜、在中间图像平面处的场透镜及转移透镜。在引导所述远心照明小束通过上扫描偏转器及下扫描偏转器且引导到载物台上的工件上时，使所述远心照明小束扫描。

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作者：情报员