国家知识产权局信息显示,华海清科股份有限公司取得一项名为“一种晶圆传输装置和具有该传输装置的CMP设备”的专利,授权公告号CN224659097U,申请日期为2025年7月。

专利摘要显示,本实用新型公开了一种晶圆传输装置和具有该传输装置的CMP设备,涉及晶圆制造技术领域。所述晶圆传输装置包括:轨道,沿CMP设备的横向及竖向设置并位于CMP设备中;滑块,设置于所述轨道上并沿轨道移动,所述滑块上配置有晶圆夹持机构,以夹持待传输的晶圆;所述轨道至少包括水平段和竖向段,两者连接为一体,所述晶圆夹持机构借助滑块在水平段与竖向段之间移动,以实现晶圆的翻转。

天眼查资料显示,华海清科股份有限公司,成立于2013年,位于天津市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本35365.1991万人民币。通过天眼查大数据分析,华海清科股份有限公司共对外投资了12家企业,参与招投标项目303次,财产线索方面有商标信息67条,专利信息842条,此外企业还拥有行政许可38个。

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作者:情报员