国家知识产权局信息显示,杭州力特朗思半导体有限公司申请一项名为“一种半导体晶圆处理用加热板及其制造方法”的专利,公开号CN122622052A,申请日期为2026年5月。

专利摘要显示,本发明涉及半导体晶圆精密加工技术领域,具体涉及一种半导体晶圆处理用加热板及其制造方法,由下至上依次为底层支撑层、中层导热过渡层和表层均热工作层;所述底层支撑层、中层导热过渡层、表层均热工作层中均添加稀土改性组分;加热板内部布设发热电路,表层均热工作层外侧设置纳米梯度防护层,加热板侧边与背面设置绝缘涂层。本发明通过梯度复合结构设计与一体化制备工艺,从材质、结构、工艺多维度优化加热板性能,采用三层梯度基材结构,可平衡各层导热与支撑性能,保障加热板在宽温域工作时温场分布均匀,满足高精度晶圆加工的温控需求。

天眼查资料显示,杭州力特朗思半导体有限公司,成立于2025年,位于杭州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,杭州力特朗思半导体有限公司共对外投资了1家企业,专利信息2条。

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作者:情报员